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氧電漿表面改質原理
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蝕刻
蝕刻製程會移除晶圓表面的特定區域,以沉積其它材料。 「乾式」(電漿) 蝕刻是用於電路清晰度步驟,而「濕式」蝕刻(使用化學浴) 主要用於清潔晶圓。
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