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常壓非熱電漿應用於表面滅菌之研究回顧

低溫電漿則廣泛應用於表面改質、薄膜生成、半導體製程、特殊氣體生成、空氣 ... 常壓非熱電漿的設備非常多元化，設計的原理主要仍以介電質放電以及經由射頻/微波持續.

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