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奇妙的電漿與電漿的應用 - 國家實驗研究院

我們利用產生的電漿與腔體內的製程氣體發生碰撞讓氣體離子化，而離子化的氣體會被吸引到晶片上進行表面改質（如圖(四)所示），讓原本純矽的半導體因摻雜了砷形成N型 ...

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