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電漿表面改質層應用於精密模具結構機制之特性研究

因此電漿浸. 泡式離子植入(Plasma immersion ion implantation, PIII)便相應而生。此實. 驗所使用的PIII 系統構造示意圖如圖2-1-3 所示。 其原理是將工件 ...

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