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反應式離子蝕刻機RIE - ishien vacuum 部落格- 痞客邦

一般將蝕刻分為濕式蝕刻和乾式蝕刻，而乾式蝕刻（Dry Etching）又稱為. 電漿蝕刻（Plasma Etching）且屬於非等向性蝕刻，所以是目前最常使用的蝕.

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