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圖解光電半導體元件 - 第 109 頁 - Google 圖書結果

( a )乾式蝕刻去光阻藉由電漿放電,在無損基板表面的光阻下,直接針對光阻進行蝕刻,使得晶片上的光阻(為碳氫化合物)被氧電漿進行反應性蝕刻,產生 CO 、 CO 。

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