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氧電漿蝕刻
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https://www.tiri.narl.org.tw/Publication/InstTdy_Full/12484?PubId=227
大氣壓電漿技術在高分子產業的應用 - 台灣儀器科技研究中心
舉例來說,氧氣電漿,碰到以碳原子為主的高分子材料(塑膠) 表面時,就很 ... 反應的速度是非常慢的),這種電漿反應在工業界習稱為電漿蝕刻(etching) ...
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