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電漿蝕刻原理 - Fisherie

何謂dielectric 蝕刻介電質蝕刻? 答,Oxide etch and nitride etch 半導體中一般介電質材質為何? 答,氧化矽/氮化矽何謂濕式蝕刻? 答,利用液相的酸液或溶劑;將不要的薄膜 ...

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