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電漿的基礎原理www.tool-tool.com

平均自由路徑是粒子在和其他粒子相碰撞之前所能移動的平均距離。它和壓力成反比。 ○從分解碰撞中產生的自由基能夠提高CVD\蝕刻和乾式子清洗製程的化學反應。

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