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氧電漿蝕刻
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乾式蝕刻電漿電漿機於乾式蝕刻技術 - Nodxk.co
電漿 為一新興的工業應用,可以達到較佳的深寬比獲致良好的電性,二氧化矽和氧氮化矽的鈍化材料. 金屬間介電層的蝕刻並控制其輪廓. 清除失效分析中集成電路板上殘留的封裝 ...
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