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電漿有何應用?

利用電漿產生有助燃燒的活性粒子如氧原子(O)、氫原子(H)、氫氧基(OH)及 ... 台積電晶圓製造中有許多使用電漿的鍍膜、清洗、蝕刻製程，或與半導體相關設備廠商(例如美商 ...

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