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電機與電子工程系碩士班碩士論文爐管氮化矽均勻度改善之研究 ...

圓在爐內高溫環境下，晶圓表面會與通入爐管中之氧氣作用而形成二氧 ... 而乾蝕刻則是以電漿蝕刻(Plasma Etching)，電漿蝕刻中會使電漿中的離 ...

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