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金屬輔助化學蝕刻法製備矽奈米線之熱電性質研究 - NCU ...

Keywords: 矽;一微奈米結構;金屬輔助化學蝕刻法;熱電;電漿表面改質;silicon ... 熱導率明顯下降，經氧電漿蝕刻，低摻雜奈米線電導率電導率會上升。

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