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常壓電漿束於矽蝕刻之應用 - 工業技術研究院

表面間之作用機制；此外，亦探討其電漿束於矽材蝕刻之應用可行性。 Abstract：Atmospheric-pressure (AP) plasma ... 氧氣(O2)與氮氣(N2)，針對碳化矽(SiC)材料之蝕刻.

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