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Thin-Film Deposition Principles & Practice

電漿 助長型化學氣相沈積法，此為利用一般CVD系統之熱. 能外，另加電漿能量。 ... 有限，尤其當充氣以非惰性氣體如氧氣做反應鍍膜時，電 ... 乾式蝕刻(Dry Etching)。

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