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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告- 常壓電漿表面 ...

可明顯看出蝕刻效果遠大於沉積(自由基造成)效果，表面有許多被轟擊出來的孔洞及明顯刮. 痕造成粗糙度上升，由電漿原理推測外加電場所提供之能量越大，氣體分子與電子 ...

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