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氧電漿蝕刻
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「蝕刻升級篇」剖析干蝕刻和濕蝕刻的作用、製程及其原理
蝕刻蝕刻 的作用:線路成型。蝕刻分為干蝕刻與濕蝕刻,其區別如下:干蝕刻:利用不易被物理、化學作用破壞的物質光阻來阻擋不欲去除的部分,利用電漿的 ...
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