量進行離子化. 處理工藝. 卻無真空電漿. 亦即在常溫. 處理技術,主. 劑蝕刻、火. 生產效率緩慢. 濕式製程才能. 分子)的碰撞. )溫度可高達. 平均自由路徑 ann constan.
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