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「電漿蝕刻」懶人包資訊整理 (1) | 蘋果健康咬一口

電漿蝕刻. ▫ CF. 4. 氣體在電漿中分解，產生氟自由基以進. 行氧蝕刻製程. ,FLEX系列產品. Atomic Layer Etch (ALE) Reactive Ion Etch. Lam Research的介電層蝕刻系統具備 ...

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