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電子材料連水養(S. Y. Lien) 電漿的基礎原理、製程與應用

電漿 製程的應用. • 化學氣相沉積(CVD). • 蝕刻(Etching). • 物理氣相沉積(PVD). • 離子佈植(implant). • 光阻剝除(PR leave-off). • 製程反應室的的乾式清洗(Cleaning) ...

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