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玻璃基板聚醯亞胺薄膜之大氣電漿清洗技術

如果估計電漿清除道寬度約略8 mm，則估算. 處理效率約16 cm2/min.，製程產率不高。 3.5 富氧大氣電漿PI 薄膜清洗實驗. 一般半導體或液晶面板製程中，圖形蝕刻製成 ...

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