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電漿蝕刻

電漿 深蝕刻技術乾式電漿蝕刻於矽基材表面進行加工處理在現今的半導體產業已是相當 ... 最後對於電漿傷害的元件，在經由氧氣600 的熱處理後發現其可有效率的恢復元件電 ...

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