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CN1595636A - 形成金属镶嵌结构的方法- Google Patents

藉由在镶嵌开口蚀刻之后所进行的电浆处理，可避免由于残余杂质所造成的介电层剥离现象。 ... 电浆处理可使用含氢电浆、含氮电浆、含氧电浆、或其混合物。

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