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電漿晶圓蝕刻

低溫電漿的一個常見用途是在被稱為晶圓蝕刻的領域，其中電漿衝擊晶圓，以蝕刻各種 ... 在電漿材料處理中，電漿是用電容耦合法（CCP）或電感耦合法（ICP）或兩者的組合 ...

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