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乾蝕刻技術

C. R. Yang, NTNU MT. -2-. 濕式蝕刻法. 乾式蝕刻法. 溼式與乾式蝕刻. 電漿. 蝕刻 ... 利用氧電漿對PDMS表面進行改質，使其表面更具. 親水性. ○ 利用氧電漿去除光阻.

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