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氧電漿蝕刻
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奈米材料簡介1. 奈米結構的分類與判斷依據奈米科技之父的諾 ...
他們使用氧電漿蝕刻1 mm 厚的高定向熱解石墨(HOPG),接著使用光阻液將石墨黏在平台上,並以膠. 帶重複剝離石墨,最後以丙酮去除平台上的光阻,以矽晶片將石墨烯撈 ...
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「氧電漿蝕刻」
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