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乾式蝕刻電漿顏色 - 軟體兄弟

氧電漿 灰化製程(Oxygen plasma ashing): 去除有機殘餘物. ... 光學感測器可以用 ... ,三種製程配方，讓我們驗證以電漿蝕刻技術微縮光阻的可能性，並且此種. 技術確實.

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