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Cf4 plasma - 四氟化碳電漿 - 政府研究資訊系統GRB

關鍵字：電漿浸沒離子注入；四氟化碳電漿；氧電漿；電漿損傷；二氧化鉿；三氧化二釤； ... 對於玻璃基板之高速粗糙化乾蝕刻製程發展，將採用CF4、CHF3、O2及Ar等為反應 ...

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