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氧電漿蝕刻
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等离子体- 维基百科,自由的百科全书
等离子体(又稱电浆),是物質狀態之一,是物質的高能狀態。其物理性質與固態、液態和氣態不同。等離子體和氣體一樣,形狀和體積不固定,會依着容器而改變。
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