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電漿製程技術

宇宙間大多數物質處於電漿態，亦即熱平衡狀態，然而在低壓放電製程中，輕重不同 ... 如果我們需要高速率沉積或蝕刻，低壓製程就產生了低壓排氣上的問題，因此需.

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