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晶圓製造

微影曝光機台, 把光罩上的圖案〈Pattern〉重現在晶圓上面. 電子迴旋共振電漿蝕刻機, 蝕刻金屬薄膜，如Al 的蝕刻。 氧化爐管, 經由施爐管內之氧氣作用而形成二氧化矽膜.

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