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電漿表面改質及摻雜對LPCVD 氧化鋅膜效應之研究 - 龍華科技 ...

首先將鍍好氧化鋅膜加以電漿表面改質，再使用螢光 ... 如電漿聚合，使用O2、. Ar、N2 時，物體表面會有被蝕刻( etching ) ... 出現，Meng[9]則以氧電漿表面處理氧化.

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