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氧電漿蝕刻
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https://www.aec.gov.tw/share/file/information/sSKyVXvzmZVuxUKwDtraAg__.pdf
行政院原子能委員會委託研究計畫研究報告電漿系統監控模擬 ...
以及用於電路上蝕刻等,都顯示出電漿科技不論在工業製造或產. 業發展上都扮演著一個很重要的角色。 ... 氧氣滲入便會與PLED 中的有機材料產生氧化還原反應導致元件.
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「氧電漿蝕刻」
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