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氧電漿蝕刻
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電漿在構裝材料製備與製程之應用 - 材料世界網
傳統塑膠產業也因此有利用電漿來進行表面改質與表面鍍膜的技術,電子高分子 ... 之文獻中,分為泝惰性氣體電漿之物理性粒子撞擊所造成的微蝕刻作用而 ...
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