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補充

氣電漿之乾式蝕刻法為宜。若使用氧氣,則在加氟碳膜902. 硬罩幕905之間可以選取大的蝕刻選擇比(二者之蝕刻率. 一言. 互間的比例)。 而且,若使用氧氣電漿,則光阻圖案904.

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