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電漿蝕刻法在玻璃表面製作微結構之研究 - 中華大學

結果顯示(氬/氫)混和氣體有助於氧與氟對硼矽酸鹽玻璃的化學. 反應，造成蝕刻率提昇，但是在蝕刻表面產生了Al-F 薄膜，因為氟. 離子與腔體內壁釋放的鋁離子 ...

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