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氧電漿蝕刻
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電漿表面改質技術 - 科普寫作網路平台
當使用活性高的氣體(容易與其他物質產生化學反應的氣體),如氧氣,所形成的電漿進行蝕刻,則除了物理性的轟擊外,電漿中的離子與氣體都可以用化學腐蝕的方式移除表面上的 ...
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