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摻雜氧對於奈米晶氮氧化鈦薄膜結構與性質之影響

薄膜的顏色隨著氧含量由暖金色轉變成綠色，最後則變成粉紅色。顏色改變是因為試片中氮與氧原子會影響到TiN結構的可躍遷至導帶的自由電子數。

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