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成果推介：氧化镓功率半导体晶圆关键技术产业化 - 南京大学

氧化镓 功率半导体晶圆关键技术产业化. 图1 氧化镓材料生长设备构建，高质量单晶外延，器件制备和封装，以及系统级电路应用. 项目负责人. 项目概况.

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