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成果報告資料顯示 - 工程科技推展中心

然而在本實驗室過去多年研究中發現，氧化鎵之感測度及穩定性隨製程條件變化甚大，以熱氧化法在900℃製備Ga2O3時，氧化時間小於12小時為n type，之後變成p type。其氧空缺 ...

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