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微電子純銅表面氧化層整合分析之研究Electrochemical and ...

銅為優異良導體，廣泛應用於各種微電子導電層與線路，但由於銅易氧化，往往造成電阻增加甚至元. 件失效。以IC 模組導線架為例，銅表面氧化層之形成與環氧模壓樹脂間常發生 ...

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