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413895 - 案號: 87121238

導線的抗氧化能力、提高銅製程的Rc 穩定性。 根據本發明. 其主要步驟包括:(a)提供- 半導體基底,該基. 底上具有一介電層覆於- 銅導電層上,且介電層形成有.

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