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氧化鈰晶體的製備方法及其cmp拋光應用 - Google Patents

因此，以氧化鈰為磨料的化學機械拋光液在性能和成本上相比於傳統的氧化矽或氧化鋁材料具有更大的應用前景和市場優勢。 ... 以上報導專利均通過選取合適的化學添加劑實現拋光 ...

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