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以原子層化學氣相沉積之高介電薄膜於金氧半場效電晶體的應用

用於金屬－氧化層－半導體(金氧半) 場效電晶體 ... 值明顯上升，而等效氧化層厚度(EOT) 也從2.32 ... 所示，以所看到的介面層厚度進行計算，介面層的.

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