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国内半导体设备国产化率提升，首家自研量子芯片激光退火仪投产

近期，合肥本源量子计算科技有限责任公司（以下简称本源量子）自主研发国内首 ... 16、利用 PECVD 沉积一层无掺杂氧化层，保护元件，并进行退火处理。

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