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新型PB-PSOI器件表面电场和温度分布模型研究 - Engineering

埋层SiO2 的厚度为tbox，阶梯栅下氧化层厚度分别为tox1 ，tox2 ， SiO2 和Si 的介电常数分别为εox 和εsi，P 型埋层浓度为Np，厚度为tp 。图 2 为计算器件 ...

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