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氧化層厚度計算
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彭海琳课题组在高κ自然氧化物栅介质的二维电子学研究中取得 ...
第一性理论计算表明,该氧化物不仅带隙大大增加(从0.8 eV增加到3.9 ... 器件使用的最小等效氧化层厚度(EOT)可达0.9 nm,且栅漏电流远低于同等效 ...
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