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5 Thermal Processes

(2)固定氧化層電荷(Fix Oxide Charge) ... 通常薄氧化層(~150Å) 去預防因污染及過度應 ... 厚度. • 閘極氧化層. • 均勻性. • 色彩對照表. • 崩潰電壓. • CV 特性.

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