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新型HfO2 栅介质中的频散效应及参数提取方法 - SciEngine

理论计算表明, 在此厚度下量子力学效应导致的隧穿电流的迅速 ... 而, 随着栅氧化层厚度的不断减小, 各种隧穿机制引起的栅漏电流不断增加, 相应的等效电阻也必须.

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