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氧化層厚度計算
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薄膜量測標準 - 材料世界網
透過最小平方法來擬合實驗中所量得的橢圓偏光函數,可以求得此熱成長二氧化矽層的薄膜厚度. 與折射率。系統的評估方法參考國際標準組織(ISO)發行的「量測不確定度表示法的 ...
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